PECVD工藝是太陽能電池生產的重要工序,易碎的電池片插片對工藝要求極其嚴苛,對機器人精度、速度與可靠性要求極高。史陶比爾TX2-90機器人采用JCS減速器專利技術與JCM集成馬達驅動系統,達到高速、高動態精度與高可靠性水平,實現平穩柔順的軌跡控制。
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