簡介

適用于晶元搬運(yùn)SEMISTAR-M系列升級(jí)版，引領(lǐng)業(yè)界的高性能！供應(yīng)EFEM模塊全套設(shè)備。300枚/小時(shí)的高速搬運(yùn)。

特點(diǎn)

大動(dòng)作范圍：EFEM模塊移動(dòng)距離可達(dá)4套應(yīng)用設(shè)備，無需使用底架，極大地提高了搬運(yùn)效率

高速搬運(yùn)：300枚/小時(shí)

適用：300mm-450mm晶片搬運(yùn)